今年以来，我省集成电路装备重点企业保持快速增长态势，沈阳芯源、拓荆科技、沈阳富创、沈阳科仪、沈阳新松等重点企业纷纷突破关键技术，研制了一批实现国产化替代的产品，产业规模逐步壮大，产业类型日渐丰富。

图为8月2日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司干式真空泵生产线上一派忙碌景象。该公司是全省集成电路装备先进企业之一，其产品包括真空仪器设备和干式真空泵，均达到国际同类产品先进水平，填补了国内空白。